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中文

機(jī)臺(tái)基本規(guī)格:

設(shè)備尺寸

2000mm(L)×1750mm(W)×2200mm(H)

真空室尺寸

850mm(L)×962mm(W)×860mm(H)(可按產(chǎn)能訂制)

垂直 / 水平 - 極板

根據(jù)產(chǎn)品尺寸和產(chǎn)能要求 制定

電極板

標(biāo)準(zhǔn):610mm*1100mm

RF 等離子發(fā)生器 & 網(wǎng)絡(luò)匹配

額定功率:0-10KW(AE)

過(guò)程溫度控制

30-150℃恒定可控

氣體流量控制器,擴(kuò)展至 5 路氣體

0-1000ml/min-0-5000ml/min(   美國(guó) MKS/ SEVEN STAR)

真空測(cè)量

0-10   TORR( 美國(guó)或日本)

人機(jī)界面觸摸屏

可根據(jù)中國(guó)區(qū)客戶實(shí)際需求,中文界面

信號(hào)指示燈

3 色帶警報(bào)

真空發(fā)生系統(tǒng)

干泵機(jī)組(臺(tái)灣 HanBell 干式真空機(jī)組,PS902 螺桿機(jī)組)

* 設(shè)備設(shè)計(jì)及規(guī)格可進(jìn)行調(diào)整,以便提高設(shè)備性能。