簡介及特點(diǎn)
本設(shè)備根據(jù)水平式真空等離子做全自動化設(shè)計，產(chǎn)品由自動上下料機(jī)構(gòu)取放至料框內(nèi)，再進(jìn)入升降機(jī)內(nèi)進(jìn)行下一層產(chǎn)品的取放，最終將升降機(jī)內(nèi)的料框全部取放完成后，輸送車直接將升降機(jī)內(nèi)的料框整車?yán)?，另一臺輸送車將等離子腔體內(nèi)生產(chǎn)完成的產(chǎn)品料架整體拉出并移動到暫存位，待制產(chǎn)品的輸送車將料架運(yùn)輸?shù)降入x子腔體前并將料架送入到等離子腔體內(nèi)，等離子機(jī)臺自動關(guān)門生產(chǎn)，輸送車回暫存位，已制輸送車將料架移動至升降機(jī)并將料架移動到升降機(jī)內(nèi)，進(jìn)行自動收放板動作。
產(chǎn)品特點(diǎn)
等離子采用全自動開關(guān)門
采用全自動上下料機(jī)構(gòu)
全自動料架運(yùn)輸車，將產(chǎn)品料架從腔體到升降機(jī)之間運(yùn)輸
料架升降機(jī)，滿足多層料框的自動升降
進(jìn)出料自動感應(yīng)，以防產(chǎn)品漏加工
采用PLC+工控機(jī)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)全自動控制。
真空檢測0-10 TORR(美國英福康)
適用多種不同尺寸產(chǎn)品
整套設(shè)備尺寸 | 8500mm(L)×2750mm(W)×2650mm(H) |
真空室尺寸 | 1132mm(L)×1250mm(W)×1350mm(H)（可按產(chǎn)能訂制） |
水平電 極板 | 電極板16層，產(chǎn)品可放置15層 （可按產(chǎn)能訂制） |
電極板 | 標(biāo)準(zhǔn)：1100mm*980mm |
RF 等離子發(fā)生器 & 網(wǎng)絡(luò)匹配 | 額定功率：0-10KW(AE) |
過程溫度控制 | 30-90℃恒定可控 |
氣體流量控制器，擴(kuò)展至 5 路氣體 | 0-1000ml/min-0-5000ml/min( 美國 MKS/ SEVEN STAR) |
真空測量 | 0-10 TORR( 美國或日本） |
人機(jī)界面觸摸屏 | 可根據(jù)中國區(qū)客戶實(shí)際需求，中文界面 |
信號指示燈 | 3 色帶警報 |
真空發(fā)生系統(tǒng) | 干泵機(jī)組（臺灣 HanBell 干式真空機(jī)組，） |
