- 產(chǎn)品詳情
機臺基本規(guī)格:
設(shè)備尺寸 | 2000mm(L)×1750mm(W)×2200mm(H) |
真空室尺寸 | 850mm(L)×962mm(W)×860mm(H)(可按產(chǎn)能訂制) |
垂直 / 水平 - 極板 | 根據(jù)產(chǎn)品尺寸和產(chǎn)能要求 制定 |
電極板 | 標(biāo)準(zhǔn):610mm*1100mm |
RF 等離子發(fā)生器 & 網(wǎng)絡(luò)匹配 | 額定功率:0-10KW(AE) |
過程溫度控制 | 30-150℃恒定可控 |
0-1000ml/min-0-5000ml/min( 美國 MKS/ SEVEN STAR) | |
真空測量 | 0-10 TORR( 美國或日本) |
人機界面觸摸屏 | 可根據(jù)中國區(qū)客戶實際需求,中文界面 |
信號指示燈 | 3 色帶警報 |
真空發(fā)生系統(tǒng) | 干泵機組(臺灣 HanBell 干式真空機組,PS902 螺桿機組) |
* 設(shè)備設(shè)計及規(guī)格可進行調(diào)整,以便提高設(shè)備性能。