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中文

整套設(shè)備尺寸

8500mm(L)×2750mm(W)×2650mm(H)

真空室尺寸

1132mm(L)×1250mm(W)×1350mm(H)(可按產(chǎn)能訂制)

水平 極板

電極板16層,產(chǎn)品可放置15 可按產(chǎn)能訂制)

電極板

標(biāo)準(zhǔn)1100mm*980mm

RF 等離子發(fā)生器 & 網(wǎng)絡(luò)匹配

額定功率:0-10KW(AE)

過(guò)程溫度控制

30-90恒定可控

氣體流量控制器,擴(kuò)展至 5 路氣體

0-1000ml/min-0-5000ml/min( 美國(guó) MKS/ SEVEN STAR)

真空測(cè)量

0-10 TORR( 美國(guó)或日本)

人機(jī)界面觸摸屏

可根據(jù)中國(guó)區(qū)客戶(hù)實(shí)際需求,中文界面

信號(hào)指示燈

3 色帶警報(bào)

真空發(fā)生系統(tǒng)

干泵機(jī)組(臺(tái)灣 HanBell 干式真空機(jī)組,