簡介及特點
本設(shè)備是按照觸摸屏行業(yè)mini LED產(chǎn)品清潔研發(fā)設(shè)計，產(chǎn)品由玻璃取放機械臂搬送至腔體電極上，電極上部有多條產(chǎn)品支撐，機械臂進入腔體到位后下降，產(chǎn)品被支撐條托住，機械臂抽出，產(chǎn)品依次放置，共計可放置10層產(chǎn)品；采用自動升降門的結(jié)構(gòu)，節(jié)省開門空間，高度依據(jù)機械臂標準作業(yè)高度設(shè)計，最大限度的提升機械臂的作業(yè)范圍，此設(shè)備采用PLC+工控機系統(tǒng)，實現(xiàn)全自動控制。
產(chǎn)品特點
采用全自動開關(guān)門
支撐條固定在電極上，節(jié)省空間
機械臂全自動上下料
產(chǎn)品尺寸：1050mm(L)*1600mm(W)*5mm(H)
進出料自動感應(yīng)，以防產(chǎn)品漏加工
采用PLC+工控機系統(tǒng)，實現(xiàn)全自動控制。
真空檢測0-10 TORR(美國英?？?
設(shè)備尺寸 | 1850mm(L)×1850mm(W)×2780mm(H) |
真空室尺寸 | 800mm(L)×1100mm(W)×1350mm(H)（可按產(chǎn)能訂制） |
水平電 極板 | 電極板11層/13層，產(chǎn)品可放置10層/12層 |
電極板 | 標準：780mm*900mm |
RF 等離子發(fā)生器 & 網(wǎng)絡(luò)匹配 | 額定功率：0-10KW(AE) |
過程溫度控制 | 30-90℃恒定可控 |
氣體流量控制器，擴展至 5 路氣體 | 0-1000ml/min-0-5000ml/min( 美國 MKS/ SEVEN STAR) |
真空測量 | 0-10 TORR( 美國或日本） |
人機界面觸摸屏 | 可根據(jù)中國區(qū)客戶實際需求，中文界面 |
信號指示燈 | 3 色帶警報 |
真空發(fā)生系統(tǒng) | 干泵機組（臺灣 HanBell 干式真空機組，） |
